Diode phát quang và giải Nobel Vật lí 2014
Pha tạp GaN
Một trở ngại chính cho việc sản xuất lớp tiếp xúc p-n là khó khăn trong việc pha
tạp p GaN bằng cách điều khiển được. Vào cuối thập niên 1980, Amano, Akasaki
và các cộng sự đã tiến hành một quan sát quan trọng; họ để ý rằng khi nghiên
cứu GaN pha tạp Zn với kính hiển vi điện tử quét, nó phát ra nhiều ánh sáng hơn
[29], từ đó cho biết việc pha tạp p tốt hơn. Bằng một cách tương tự, khi chiếu xạ
GaN pha tạp Mg với các electron năng lượng thấp, kết quả là các tính chất pha
tạp p tốt hơn [30]. Đây là một đột phá quan trọng và nó đã mở đường tiến tới các
lớp xúc p-n ở GaN.
8%!
W-\]!(G
!)
I,?!N8"[B%?!&
8-.
=K
#
A(0!,?
! !!*
W"Z
;;!
A
A-H A%&'
[
^D
%V"W
/
A
*!! !_) &_`
!! !8?!:!
W
)!-UF&;!
W !*8=a5Ob5c
[ (0;C
? !J
!<
% & &F
W 8' A
C
(0 :
d8(G / &' ! !")_"F
(G% &;! ,?! !
8;(
*
*
=;8C(0 =I%8
0:!
'!e-
P
(7 H" U#
: C8
A &
! !
8 !J
8
;?fg-h=
=%\-h8
&S-H
=
8
-
i ! /
!J
"Z;"7!d!*
>
+8
?
!?" $
+\-j-k
Vl
!!
!&C8235mn2o-p
*
#8
;
*><!
8
I!
"8S.-q
;
DL
DA 8&%(7; !
d
F
!)N8
d-r;
!M(0! !1"7
s-&235bt23ua%8
:?!?7 vL%&
# 23a5&
23b5LV!L"Q8
&""
! !
!:Q!
*&N;
+!
"8nao-H
IA>A
('!=!):
A*
;
!J
!D
<!;
,!J
! !
;" $-
-HA :
>
8
'
*><!O-@8
'
*><!O(0!
e!!
#%! !!
!A
+:
:
%!9! !w
w!A
('(0!
-. !!
=*
0&'w
Q& (0!
>
-rI!
;%N
^!D
" $!)=C(0
!
*-. !!)=
C(0
*!/!d!*=_8%
8!*;D
-\;D
(0
, !J
8
E Q !J
Q
&' Q !
'
* ><!
8
=
G
V!-
U;!
F8I!d7
: !J
! ! !D
" $& '
*><!Ox
&
# 23u5% (
*
8
y9
: ;8 i
@ 7 lK & C8 23um P H" 2346 ! S!=A% i
&
i
-.
7 z8
'
*><!O!)
I8
?!?D
$I
-UC82342%Y-&!&! !!
!y9
:;8S
.7lK nboV,?{
(7AI
:!
;
(0;
7S."d8! !
8
;
'
*><!%
)
=*
0
> !J
! ! !
& w
Q- @A % C
(0
8(G
Bd=C(0!J
S.%&^N
>D
Z
=*
0
>!)=C>A
! !
!D
]!! !
=*8=A*
8
I-UC82344%!d!*;
"d8(0!
!1878
Q0!D
gggOUnu%4o-UC82344&2346%j-k-\
A
y9
:;8i@!18(0!Z;
(0;
DA78
8&!
=*
0!J
! !!
&w
Q
'
*><!On6ov8\F2-
. ! =K
#
!*
! ! '
* ><! O ; &' P
h (0!
I
!)
C8
)-P
hD$"7=C(0
!
*!J
)%!|
=*
0!
&w
Q8=L!/G*! !
-YC(02%uU
(d1&' -U8X
_
C8236a%&;!
DA
>
+'
*><!O(0!"
!
nmo-U
)%
>
7P
h7;
BmmY%
(0! !1 8 ! # & / (
G "7 "
)8 !1
VP
!
!%gil%&y9
:;8lg@!%7lKnRO25o-@A
%8D
&C8
F! !
8'(0!,?V-HG
I !J
! ! T
I P H" C8 a555 ! }- g- h~& & \-
Y8% & ! ! * (0
,
A% ! |
8 !/8
Q
d ! !
8
;
G88
[
D
%! !
!)
I
?!
7;
9%&'! !1?
NK&!
-
S
:;8"[/&!Q
# 2345n22o%
*"
&;!
!*
;,?P
y=C(0
*"Za%aUx
"7"
)8 !1
y9
:;8@
e8y7
r1!\-P-P88%y9
:;8S&!!
!Sk7hj-
- h & ! ! 9
: ;8 !J
V ;
i 7 lK l-
Pn2aO2uo-\^!)! !8?!
= !
%
+
AN
L%
W
&
ANF!*! !_!E
TX
;
,&;
-S,?
! !!D
?
= !
&:?}Os]!H&'8(0
%
"('!)= !
V(0!
+B
'?!-U!Q
# 2365%8
Q >D
7 ! ! ('! = !
V ! >D
>(7 B & ?!
P
y-
. !
I
"
8P
%h&yP
y>h2 t >D$'=K
#
&F
"('!)
!)
IWd"('!)!P
h%
'&X==*
G = C (0
!
* &' > (' 5%u4- H- \A
= j- & ! !
!
y9
: ;8 P
!
! 7 lK% "W
/ !1 &'
P
y>h2 t >&!Q
# 2345%&V
!L
&;!!*
! !'
*><!O&
DA
>-S
>
7"('!)
m2588B(0!" ! &C8236an24o-
!"
.(G(
*
>
8
B
=)=CdN-H
w !"
/&'}S&S.%&'=C (0
* '%=L(
*
> ;-U#
;!|
I! !
8
P
HP
8H
-
#!! "$%&'
P
H8
!D
" $
!^gggOU%&'!D
<!
I
-H)!)
I
(0!L!DA
!D
N
hasb]!S.%"D
!D= !";
&N! !
ZQ8-P
H!)
I(0!
%&:?&'!I
]!&'
8
8I
-rN=L
A&;!
8(7*
FL!DA P
H
7 9-H)!%! !=*8=A*
I
P
H(
*$!
Q
%
1!
;
!-P
H!)=
C (0
!
* b%u U%
(d 1 &' 8
"('! ) Z8
&X
,
-
H
A
+!Q
# 2345%=C8
!L;
W 8',?
P
H% 8 =C (0 (G
V (0!% (0! >8 >|
8
<!
! !
9 !1!J
Vy-\-P-P88&\-Y8
V
(0!
;
+P
H
8
&X[,?! !!D
)
= !
&"Z !*V(0!!Dn26o-@A %<!DA&;!L!DA
IP
H&$!9D
=)-.E
IB%
"
%8' !)
I
(0!
%
)! !'
*><!O=L
I
(0!-UF
*%! !
!1
VyA*
T
#
&!D
P
y>8/
-
. !
IP
H(0!
;d&!Q
# 2365"Z! !
L!DAP
H
8
!D
N,?=K
#
\Uy\AU
y
>Atl^!|y
\d\An2mo-l
Q9
:;87('!lK
n2R%23o%7H#
ina5o&7!ena2oV !1! !=K
#
L!DA&
P
H &' 8?!
I
8% ( ! !
7 &N
;
(G(&$=)=W!?!(0!-rN"N8]
&$=LN=I
(0!%
;L!D\Uy"Tx8"$! !
!D
=8!AI
*&
&;!
"T
?)
!)8]
!J
A%
! !1!!D
&'!D
#
!!
-U
9!J
A=L(0!Iz&<!DA-j-g-
y
=&% 8
=
C823mbnaaof
I8
!1"TF
;=L!)F
()*$ +$ ,-
U
# 23m5% ! ! =
>Atl^!|.X8ye
>Atl^!|y
\d\
!!
*! !=K
#
A
!1P
H
A
+/C823mu%<!
l
7 @=A- HC8 23R2% L (
H
A
&
*
?! !
! ! ! = !- lV
:
Q
8'(0!!
!J
8
!w
:
IhH//
=*
)(0!8)
8)A%'!D
(
)P
H!)
!DA<!/!
%(
8
"N 8]
!D
(0 !
% ) !
8B
'
/
(G
(
^! /
K &! A% V &
!!"#$%&
'(
)*+&,%-
(.-#/%#$ 012$3%-
;-l
/
*"-
."/
K
#
L !DA
I 8'% il l!
i
8
,nabo&lsUyl
!U
y
!dOY8nauo(0!
IL!DAP
Hna4o-g
8h=
="
DAL
8&;!
U
0! (
(
1!J
L&NP
H%!&'\h8
!X
* C8 23R6
F P
H &' !D
(0
*
"Z=K
#
lsUyna6o-r
;8&
-l
'8Bb58
e
!D
N
7;
;
L!DA!J
P
H2555.-@
F
I8
=*
!D=*
B&'8
I8^! -l#
=*8=A*
!J
8
=8^!
8&µ8-.)
D
^ I L !
"('!
)!J
I-iZ
0! P
H !D
(0 !
!D ? !?
*
8
" "
456%
'5617
8
9
w!
I-H(G
w
W
/
; !1
G r ^!
I !
&
DA=*
D455.&
T('
IP
HL
I
(0!
DA ! ! !D
<!
! !A% /
>8 \F a
-
H(G
!M !)
I
P
H &'
N
D d =I- S
H
=
8
@#\)
!D
H!
%8
!L
)
!D
B7H#
i%
)V
I8
(d
(d
)hH(0!
A"Z
8
'8BP
HL!DA7;
DnaRo-
0$1#
l
7!:!&;!>D
'
*><!O=)=C
&;!
P
H"Z! !N=I(0!-U!Q
# 23R5%h8
%h=
=
&! !!V
*8
^
^I{Z=
!1P
H
}&'=:I&;
,|
%)
N d
na3o%
+)!"*
&;!
Q
d-iZ8
! !
(d
%=!*>
P
H
l&'! !!
C(0
D%=*
! !
:!D
Q
dnb5o-reA8
^&)V87(G
*
'! !
'><!O7P
H-
@ !?!J
&;!!*>!
(0!
:!&C8
)%
8
"
" !J
H
=
8
&! !!nb2o-. !
!!
(l]!}
1!
!D
&' A & )
7
? - . ! !X8 !
8 e
1!!D
A&8=:!
! !
!!
-H
=
8
!18Z
X8
>,:;
dA;!M$
'=:!
;!J
! !
!!
l-@ !?!J
AQ&'&;!8
9
! !!D
?
V(0!"*
+ !1
('!),?! !
;= !%"7y
=&nbao%
P--H8
=k
!nbbo%&(G= !-
l
"('!
*
A*
&;!
I
8;?L!DA&
! !0=8hP
H%gP
H%)!
*
A*I>D
! ! '
*
><!T
I-. !
*><!T
I(
*(0!;
!)
&/
# 2335
7)8 !1!J
h=
=$)8!J
H
=
8
nbu%b4o-
(- $%2&$3415!67$
S
I!J
&
!1
BZ! !'
*><!
T
I&*(0
,!/
*
I
(0!;D
!
-@! !!D
<!
(
*%! !w
Q&!
(0!"d8&8
I
:!B
)
=*
0>A
;d&&'
[
:
D
-h=
=&! !!V
I! !!D
<!
hP
HP
Hnb6%bmo!9H
=
8
!L
'&'&;!=
!! !=*
0gP
HP
H&gP
HhP
HI
! !'
* ><! T
I% * (0
,% & * (0
, " nbRo- U C8 233u%
H
=
8
&! !!V
(0!;D
(0
,a%mc,?8
'
*><!T
I=|gP
HhP
H>8\Fbnb3o-U'"('!
I
/
^A%
FV z/('*
I
8&
1 ? !J
!< 87
('! 8W
- .
N
*
?!
I
8%('
';D
!
d%
:
&! !1?-S
>
8
P
H(0!
DA&C82334t2336"7!
)8nu5%
u2o-
. !Q!P
H;A
A=*
!J
8
!w! !
K &!
:
; !d " & L !DA
I%
K &!
:
?!?&'
*
=*!D
<!T
I
*%&
K&!
:^!&'
Q()
=*
0
-@*
FT!,!J
8%?!%B&
W(0!
)8
W
F7
-
8&9
.L;
W ;
8
!!! !8%) !AI
*
+")_
&_Q`
!L;-i)_
9%(0!
8"7@8
&C82Rm3%!);D
D!26
8%
(d(d&';D
C(0=uc;C(0!"*
[
-8 8 d&T XI8L
L%)>|
* 1 [ !J
8W
(G- r_ Q `
% !1
JA e &
(0!
8"7y-.\
&C82355%
';D
m58-
. !
W;
A
'db55 8%
(d(d&';D
!W8
(G
45c-
:-@*
FT!,!J
(d8-@:!
+nuao-y.O
&*
W
!J
W"*[%\!D
<!T
I=|-\;D
!W8
(G
EQ
!LD
&!LD
;!!D-
. !
WX
W
(G
8=:!
:!I
8"*
W-. !!D
(0
!
A!X&'
[
^D
!J
!<255555G
A!%&
T
(G;
"X[-@
(d
/%! !"
8A!)
I
A
* ! =*
0 !J
8 & I
W ; - .L
;A!|N=I
/8W!-
U;!
A
*")_
9&_Q`
"Z(
*
!W
8 =I!/C(0X!
W -UFa5Oa5c;C
?
K&!=
*!L;X!
W %! (G
D
N( !&;!
A
*! ! !L;
W !M
"Z!L;-
HA
A%! !Q!P
H!!D!L;!)1!!
!
!! !
8I
T
IB!* (0!7N;
%8 A
:
"%
%8F&
:%8F
&%&e&e-. !
P
H
8&
,!9(0!X
! !U8#
!
%8! !8
!L;(
e8!%F&8-?
(d
!)
I"
8&;!,?hP
HP
H
>
,I^!('!%&F
, BhH!J
&=%&&&
-q>17
!(
!);]!8('!D;
=L;%;C
+! !
D88]
G(
!A&"
A
W ! !
W&"
8-q)%!<
!1=*8
!
*
+_
/
W-
;5!< $"=
2-\-j-k%:
3%);%
%b5R235m-
a-s-U-&%=3
3%>?=3
3>?#3@A% < ::%uR423am
A
)B)?@25au
23aR
*)C3%b6b23u5
FEEC32a23223a3-
b-Y-&!%.-h-h!!
-j
8!
%A?1)C3 )BA%65b2342-
u-P-h-~~%k-h-\"
j--i%A?1)C3 )CC%22uu2344-
4-k-i
%A?1)C3 )>>%2R3a2344-
6-j-k-\
A%A?1)C3 )>B%2R662344
j-k-\
A-.-
%A?1)C3 )
C%26m62346-
m-j-g-y
=&%A?1)C3 )G3)>%aRbOaR4236a
j-g-y
=&j--i=A%
A%)HC:%DC%23m6O23mm236a
k-j-YA@-l-
%A%)HC:%DC%2RaaO2Rab
236a-
R-k-H-\
%P--%j--YA%@-j-S
Ak-s-.
%A?1)C3 )G3)
>@b66tb6R236a-
3-l-g-H
%-y-8=%P-i%-\-P-
%D
)A?1)G3)@
6at6b236a-
25-@-l-
%k-\-k=3
)D
)A?1)G3)@32236a-
22-P-h-~~%k-h-\"
j--i%A?1)C3 )CC%22uu2344
-h-\
%
P--h~A.-S-%6%3B%253234R-
2a-\-P-P88\-Y8
%A?1)C3 )EA%23b32362
\-P-P88
\-S!%A?1)G3)B%abb236u-
2b-j-S
=!j--h%I)A?1)*3)E
<1EA%RR2236a-
2u-l-Pk-l-l=A
=%I)D
)A?1)AE%2bbR2362-
24-H-\A
=S--i&
!
%D
)A?1)G3)@Ra236a-
26- \-P- P88
\- Y8
% J) >) 6%>%1) :% a6u 2343
D% m33
2365
\-P-P88%\-Y8
g-i-l
=%53%3%iy25mmbb5
2365-
2m-\-y-l
=
j-j-@
%D
)A?1)G3)D%bam2363-
2R-k-%--S%S--S
==l-g8%A?1)C3 ) :%2a2223m2-
23-j-gy
=&%-h-l%-k!8
j--i=A%I)G):%6b%23m2
B%R323mb
\-y-l
=
%-h-S
&
j-g-y
=&%D
)A?1)G3)EE%
b5b23mb-
a5- l- S
l- h=% I) I) D
) A?1) D% 23ub 23m6-
a2-\-P-P88i-l8
% I)D
)A?1):%u54u 23m5
i-l8
%
A?1)C3 ) C@6m623mu-
aa-j-gy
=&%I)G)F%22u23mb-
ab-h--.j-k-h
%A%)E
<E3*3)C%24m23m4-
au-\-l-l
&
%-l-8
-g-S8%I):
3%3)E)B%2R6u
23m2-
a4-S-
%S-l
S-P
%D
)A?1)G3):B%b4b2346-
a6-\-h8
%H-S
=%g-h=
=-@A
%D
)A?1)G3):B%b4b23R6-
am-Y-\
8
3
)%I)*%?1
5%KD%6aR2332-
aR-S-H
=
8
%I)I)D
)A?1-AC%2m542332
S-H
=
8
%l-S%@-
l=
%I)I)D
)A?1)AC%233R2332-
a3- \- h8
% g- h=
=% @- Y
% Y- \
8
% H- S
=% Y- g=
-
g%I)G):CG:%2a223RR-
b5-\-h8
%l-Y
%Y-\
8
%g-h=
=%I)I)D
)A?1)EB%a22a
23R3-
b2- S- H
=
8
% H- g
% l- S% @- l=
% I) I) D
) A?1) A% 2a4R
233a
S-H
=
8
%@-l=
%l-SH-g
%I)I)D
)A?1)A%2b3
233a-
ba-j-g-y
=&%--.
%j--i=Ak-s-
!%A?1)C3 )G3)D%
aaau23Rb-
bb-P--H8
=k
!%FE34a4au3323RR-
bu-\-l
=
8%@-h
%\-h8
%Y-\
8
%H-S
=File đính kèm:
diode_phat_quang_va_giai_Noben_Vat_ly_2014_20150725_102956.pdf



