Diode phát quang và giải Nobel Vật lí 2014
Pha tạp GaN
Một trở ngại chính cho việc sản xuất lớp tiếp xúc p-n là khó khăn trong việc pha
tạp p GaN bằng cách điều khiển được. Vào cuối thập niên 1980, Amano, Akasaki
và các cộng sự đã tiến hành một quan sát quan trọng; họ để ý rằng khi nghiên
cứu GaN pha tạp Zn với kính hiển vi điện tử quét, nó phát ra nhiều ánh sáng hơn
[29], từ đó cho biết việc pha tạp p tốt hơn. Bằng một cách tương tự, khi chiếu xạ
GaN pha tạp Mg với các electron năng lượng thấp, kết quả là các tính chất pha
tạp p tốt hơn [30]. Đây là một đột phá quan trọng và nó đã mở đường tiến tới các
lớp xúc p-n ở GaN.
8%! W-\]!(G !) I,?!N8"[B%?!& 8-. =K # A(0!,? ! !!* W"Z ;;! A A-H A%&' [ ^D %V"W / A *!! !_) &_` !! !8?!:! W )!-UF&;! W !*8=a5Ob5c [ (0;C ? !J !< % & &F W 8' A C (0 : d8(G / &' ! !")_"F (G% &;! ,?! ! 8;( * * =;8C(0 =I%8 0:! '!e- P (7 H" U# : C8 A & ! ! 8 !J 8 ;?fg-h= =%\-h8 &S-H = 8 - i ! / !J "Z;"7!d!* > +8 ? !?" $ +\-j-k Vl !! !&C8235mn2o-p * #8 ; *><! 8 I! "8S.-q ; DL DA 8&%(7; ! d F !)N8 d-r; !M(0! !1"7 s-&235bt23ua%8 :?!?7 vL%& # 23a5& 23b5LV!L"Q8 &"" ! ! !:Q! *&N; +! "8nao-H IA>A ('!=!): A* ; !J !D <!; ,!J ! ! ;" $- -HA : > 8 ' *><!O-@8 ' *><!O(0! e!! #%! !! !A +: : %!9! !w w!A ('(0! -. !! =* 0&'w Q& (0! > -rI! ;%N ^!D " $!)=C(0 ! *-. !!)= C(0 *!/!d!*=_8% 8!*;D -\;D (0 , !J 8 E Q !J Q &' Q ! ' * ><! 8 = G V!- U;! F8I!d7 : !J ! ! !D " $& ' *><!Ox & # 23u5% ( * 8 y9 : ;8 i @ 7 lK & C8 23um P H" 2346 ! S!=A% i & i -. 7 z8 ' *><!O!) I8 ?!?D $I -UC82342%Y-&!&! !! !y9 :;8S .7lK nboV,?{ (7AI :! ; (0; 7S."d8! ! 8 ; ' *><!% ) =* 0 > !J ! ! ! & w Q- @A % C (0 8(G Bd=C(0!J S.%&^N >D Z =* 0 >!)=C>A ! ! !D ]!! ! =*8=A* 8 I-UC82344%!d!*; "d8(0! !1878 Q0!D gggOUnu%4o-UC82344&2346%j-k-\ A y9 :;8i@!18(0!Z; (0; DA78 8&! =* 0!J ! !! &w Q ' *><!On6ov8\F2- . ! =K # !* ! ! ' * ><! O ; &' P h (0! I !) C8 )-P hD$"7=C(0 ! *!J )%!| =* 0! &w Q8=L!/G*! ! -YC(02%uU (d1&' -U8X _ C8236a%&;! DA > +' *><!O(0!" ! nmo-U )% > 7P h7; BmmY% (0! !1 8 ! # & / ( G "7 " )8 !1 VP ! !%gil%&y9 :;8lg@!%7lKnRO25o-@A %8D &C8 F! ! 8'(0!,?V-HG I !J ! ! T I P H" C8 a555 ! }- g- h~& & \- Y8% & ! ! * (0 , A% ! | 8 !/8 Q d ! ! 8 ; G88 [ D %! ! !) I ?! 7; 9%&'! !1? NK&! - S :;8"[/&!Q # 2345n22o% *" &;! !* ;,?P y=C(0 *"Za%aUx "7" )8 !1 y9 :;8@ e8y7 r1!\-P-P88%y9 :;8S&!! !Sk7hj- - h & ! ! 9 : ;8 !J V ; i 7 lK l- Pn2aO2uo-\^!)! !8?! = ! % + AN L% W & ANF!*! !_!E TX ; ,&; -S,? ! !!D ? = ! &:?}Os]!H&'8(0 % "('!)= ! V(0! +B '?!-U!Q # 2365%8 Q >D 7 ! ! ('! = ! V ! >D >(7 B & ?! P y- . ! I " 8P %h&yP y>h2 t >D$'=K # &F "('!) !) IWd"('!)!P h% '&X==* G = C (0 ! * &' > (' 5%u4- H- \A = j- & ! ! ! y9 : ;8 P ! ! 7 lK% "W / !1 &' P y>h2 t >&!Q # 2345%&V !L &;!!* ! !' *><!O& DA >-S > 7"('!) m2588B(0!" ! &C8236an24o- !" .(G( * > 8 B =)=CdN-H w !" /&'}S&S.%&'=C (0 * '%=L( * > ;-U# ;!| I! ! 8 P HP 8H - #!! "$%&' P H8 !D " $ !^gggOU%&'!D <! I -H)!) I (0!L!DA !D N hasb]!S.%"D !D= !"; &N! ! ZQ8-P H!) I(0! %&:?&'!I ]!&' 8 8I -rN=L A&;! 8(7* FL!DA P H 7 9-H)!%! !=*8=A* I P H( *$! Q % 1! ; !-P H!)= C (0 ! * b%u U% (d 1 &' 8 "('! ) Z8 &X , - H A +!Q # 2345%=C8 !L; W 8',? P H% 8 =C (0 (G V (0!% (0! >8 >| 8 <! ! ! 9 !1!J Vy-\-P-P88&\-Y8 V (0! ; +P H 8 &X[,?! !!D ) = ! &"Z !*V(0!!Dn26o-@A %<!DA&;!L!DA IP H&$!9D =)-.E IB% " %8' !) I (0! % )! !' *><!O=L I (0!-UF *%! ! !1 VyA* T # &!D P y>8/ - . ! IP H(0! ;d&!Q # 2365"Z! ! L!DAP H 8 !D N,?=K # \Uy\AU y >Atl^!|y \d\An2mo-l Q9 :;87('!lK n2R%23o%7H# ina5o&7!ena2oV !1! !=K # L!DA& P H &' 8?! I 8% ( ! ! 7 &N ; (G(&$=)=W!?!(0!-rN"N8] &$=LN=I (0!% ;L!D\Uy"Tx8"$! ! !D =8!AI *& &;! "T ?) !)8] !J A% ! !1!!D &'!D # !! -U 9!J A=L(0!Iz&<!DA-j-g- y =&% 8 = C823mbnaaof I8 !1"TF ;=L!)F ()*$ +$ ,- U # 23m5% ! ! = >Atl^!|.X8ye >Atl^!|y \d\ !! *! !=K # A !1P H A +/C823mu%<! l 7 @=A- HC8 23R2% L ( H A & * ?! ! ! ! ! = !- lV : Q 8'(0!! !J 8 !w : IhH// =* )(0!8) 8)A%'!D ( )P H!) !DA<!/! %( 8 "N 8] !D (0 ! % ) ! 8B ' / (G ( ^! / K &! A% V & !!"#$%& '( )*+&,%- (.-#/%#$ 012$3%- ;-l / *"- ."/ K # L !DA I 8'% il l! i 8 ,nabo&lsUyl !U y !dOY8nauo(0! IL!DAP Hna4o-g 8h= =" DAL 8&;! U 0! ( ( 1!J L&NP H%!&'\h8 !X * C8 23R6 F P H &' !D (0 * "Z=K # lsUyna6o-r ;8& -l '8Bb58 e !D N 7; ; L!DA!J P H2555.-@ F I8 =* !D=* B&'8 I8^! -l# =*8=A* !J 8 =8^! 8&µ8-.) D ^ I L ! "('! )!J I-iZ 0! P H !D (0 ! !D ? !? * 8 " " 456% '5617 8 9 w! I-H(G w W / ; !1 G r ^! I ! & DA=* D455.& T(' IP HL I (0! DA ! ! !D <! ! !A% / >8 \F a - H(G !M !) I P H &' N D d =I- S H = 8 @#\) !D H! %8 !L ) !D B7H# i% )V I8 (d (d )hH(0! A"Z 8 '8BP HL!DA7; DnaRo- 0$1# l 7!:!&;!>D ' *><!O=)=C &;! P H"Z! !N=I(0!-U!Q # 23R5%h8 %h= = &! !!V *8 ^ ^I{Z= !1P H }&'=:I&; ,| %) N d na3o% +)!"* &;! Q d-iZ8 ! ! (d %=!*> P H l&'! !! C(0 D%=* ! ! :!D Q dnb5o-reA8 ^&)V87(G * '! ! '><!O7P H- @ !?!J &;!!*>! (0! :!&C8 )% 8 " " !J H = 8 &! !!nb2o-. ! !! (l]!} 1! !D &' A & ) 7 ? - . ! !X8 ! 8 e 1!!D A&8=:! ! ! !! -H = 8 !18Z X8 >,:; dA;!M$ '=:! ;!J ! ! !! l-@ !?!J AQ&'&;!8 9 ! !!D ? V(0!"* + !1 ('!),?! ! ;= !%"7y =&nbao% P--H8 =k !nbbo%&(G= !- l "('! * A* &;! I 8;?L!DA& ! !0=8hP H%gP H%)! * A*I>D ! ! ' * ><!T I-. ! *><!T I( *(0!; !) &/ # 2335 7)8 !1!J h= =$)8!J H = 8 nbu%b4o- (- $%2&$3415!67$ S I!J & !1 BZ! !' *><! T I&*(0 ,!/ * I (0!;D ! -@! !!D <! ( *%! !w Q&! (0!"d8&8 I :!B ) =* 0>A ;d&&' [ : D -h= =&! !!V I! !!D <! hP HP Hnb6%bmo!9H = 8 !L '&'&;!= !! !=* 0gP HP H&gP HhP HI ! !' * ><! T I% * (0 ,% & * (0 , " nbRo- U C8 233u% H = 8 &! !!V (0!;D (0 ,a%mc,?8 ' *><!T I=|gP HhP H>8\Fbnb3o-U'"('! I / ^A% FV z/('* I 8& 1 ? !J !< 87 ('! 8W - . N * ?! I 8%(' ';D ! d% : &! !1?-S > 8 P H(0! DA&C82334t2336"7! )8nu5% u2o- . !Q!P H;A A=* !J 8 !w! ! K &! : ; !d " & L !DA I% K &! : ?!?&' * =*!D <!T I *%& K&! :^!&' Q() =* 0 -@* FT!,!J 8%?!%B& W(0! )8 W F7 - 8&9 .L; W ; 8 !!! !8%) !AI * +")_ &_Q` !L;-i)_ 9%(0! 8"7@8 &C82Rm3%!);D D!26 8% (d(d&';D C(0=uc;C(0!"* [ -8 8 d&T XI8L L%)>| * 1 [ !J 8W (G- r_ Q ` % !1 JA e & (0! 8"7y-.\ &C82355% ';D m58- . ! W; A 'db55 8% (d(d&';D !W8 (G 45c- :-@* FT!,!J (d8-@:! +nuao-y.O &* W !J W"*[%\!D <!T I=|-\;D !W8 (G EQ !LD &!LD ;!!D- . ! WX W (G 8=:! :!I 8"* W-. !!D (0 ! A!X&' [ ^D !J !<255555G A!%& T (G; "X[-@ (d /%! !" 8A!) I A * ! =* 0 !J 8 & I W ; - .L ;A!|N=I /8W!- U;! A *")_ 9&_Q` "Z( * !W 8 =I!/C(0X! W -UFa5Oa5c;C ? K&!= *!L;X! W %! (G D N( !&;! A *! ! !L; W !M "Z!L;- HA A%! !Q!P H!!D!L;!)1!! ! !! ! 8I T IB!* (0!7N; %8 A : "% %8F& :%8F &%&e&e-. ! P H 8& ,!9(0!X ! !U8# ! %8! !8 !L;( e8!%F&8-? (d !) I" 8&;!,?hP HP H > ,I^!('!%&F , BhH!J &=%&&& -q>17 !( !);]!8('!D; =L;%;C +! ! D88] G( !A&" A W ! ! W&" 8-q)%!< !1=*8 ! * +_ / W- ;5!< $"= 2-\-j-k%: 3%);% %b5R235m- a-s-U-&%=3 3%>?=3 3>?#3@A% < ::%uR423am A )B)?@25au 23aR *)C3%b6b23u5 FEEC32a23223a3- b-Y-&!%.-h-h!! -j 8! %A?1)C3 )BA%65b2342- u-P-h-~~%k-h-\" j--i%A?1)C3 )CC%22uu2344- 4-k-i %A?1)C3 )>>%2R3a2344- 6-j-k-\ A%A?1)C3 )>B%2R662344 j-k-\ A-.- %A?1)C3 ) C%26m62346- m-j-g-y =&%A?1)C3 )G3)>%aRbOaR4236a j-g-y =&j--i=A% A%)HC:%DC%23m6O23mm236a k-j-YA@-l- %A%)HC:%DC%2RaaO2Rab 236a- R-k-H-\ %P--%j--YA%@-j-S Ak-s-. %A?1)C3 )G3) >@b66tb6R236a- 3-l-g-H %-y-8=%P-i%-\-P- %D )A?1)G3)@ 6at6b236a- 25-@-l- %k-\-k=3 )D )A?1)G3)@32236a- 22-P-h-~~%k-h-\" j--i%A?1)C3 )CC%22uu2344 -h-\ % P--h~A.-S-%6%3B%253234R- 2a-\-P-P88\-Y8 %A?1)C3 )EA%23b32362 \-P-P88 \-S!%A?1)G3)B%abb236u- 2b-j-S =!j--h%I)A?1)*3)E <1EA%RR2236a- 2u-l-Pk-l-l=A =%I)D )A?1)AE%2bbR2362- 24-H-\A =S--i& ! %D )A?1)G3)@Ra236a- 26- \-P- P88 \- Y8 % J) >) 6%>%1) :% a6u 2343 D% m33 2365 \-P-P88%\-Y8 g-i-l =%53%3%iy25mmbb5 2365- 2m-\-y-l = j-j-@ %D )A?1)G3)D%bam2363- 2R-k-%--S%S--S ==l-g8%A?1)C3 ) :%2a2223m2- 23-j-gy =&%-h-l%-k!8 j--i=A%I)G):%6b%23m2 B%R323mb \-y-l = %-h-S & j-g-y =&%D )A?1)G3)EE% b5b23mb- a5- l- S l- h=% I) I) D ) A?1) D% 23ub 23m6- a2-\-P-P88i-l8 % I)D )A?1):%u54u 23m5 i-l8 % A?1)C3 ) C@6m623mu- aa-j-gy =&%I)G)F%22u23mb- ab-h--.j-k-h %A%)E <E3*3)C%24m23m4- au-\-l-l & %-l-8 -g-S8%I): 3%3)E)B%2R6u 23m2- a4-S- %S-l S-P %D )A?1)G3):B%b4b2346- a6-\-h8 %H-S =%g-h= =-@A %D )A?1)G3):B%b4b23R6- am-Y-\ 8 3 )%I)*%?1 5%KD%6aR2332- aR-S-H = 8 %I)I)D )A?1-AC%2m542332 S-H = 8 %l-S%@- l= %I)I)D )A?1)AC%233R2332- a3- \- h8 % g- h= =% @- Y % Y- \ 8 % H- S =% Y- g= - g%I)G):CG:%2a223RR- b5-\-h8 %l-Y %Y-\ 8 %g-h= =%I)I)D )A?1)EB%a22a 23R3- b2- S- H = 8 % H- g % l- S% @- l= % I) I) D ) A?1) A% 2a4R 233a S-H = 8 %@-l= %l-SH-g %I)I)D )A?1)A%2b3 233a- ba-j-g-y =&%--. %j--i=Ak-s- !%A?1)C3 )G3)D% aaau23Rb- bb-P--H8 =k !%FE34a4au3323RR- bu-\-l = 8%@-h %\-h8 %Y-\ 8 %H-S =
File đính kèm:
- diode_phat_quang_va_giai_Noben_Vat_ly_2014_20150725_102956.pdf